沈陽芯源微電子設備股份有限公司

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截至2022年12月31日，公司擁有授權專利245項，其中發明專利171項，實用新型專利45項，外觀設計專利29項，擁有60項軟件著作權，主持制定了行業標準《噴霧式涂覆設備通用規范》、《旋轉式涂覆設備通用規范》

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